外延设备AIXTRON颗粒过滤器滤芯

来源:律特霍尔　浏览：63次　时间：2023-03-26

滤芯耐高温玻璃纤维AIXTRON颗粒过滤器滤芯1、粗滤：100μm=90%

2、细滤：25μm=99.95%

3、透气量：1000L/Sec/㎡

产品特性：

1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。

2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。

3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，*使用温度可达250度以上。