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MOCVD手套箱HEPA过滤器滤芯

来源:律特霍尔 浏览:44次 时间:2022-12-21

MOCVD手套箱HEPA过滤器滤芯

手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内,并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。也称真空手套箱、惰性气体保护箱等。主要功能在于对O2,H2O,有机气体的清除。


广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境,如:锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用,如厌氧菌培养、细胞低氧培养等。


主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求,也可以根据需要进行设计制造。[1]


主箱体上有两个(或两个以上)手套操作接口,分布在箱体的前边(或前后两边),这使得本操作箱能被一个(或几个)人同时操作,提高了箱体的使用效率。另外,在箱体的前面(或前后)都有观察窗,操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程,使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴,在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴,用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用(手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气)。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。


过渡室是作为主箱体与箱体外的过渡空间,是由二个密封门和二个阀门以及一个室体组成。内外二个门能够有效地隔绝主箱体与外界的联系,使得箱体内外的东西能够在主箱体与大气隔绝的情况下进出,从而避免了反复对主箱体抽真空与充气的麻烦。

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